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矽片再生
ag凯发提供全方位的矽片再生效劳:从技术性先进低颗粒度,超平再生,到最简单的脱除与抛光,且有干净抛光外表之一般级晶圆片。 经过ag凯发先进技术再生处理过的晶圆片,最小可抵达88奈米颗粒巨细, 以及0.13微米的局部平整度。
 
使用最先進的再生設備,ag凯发能將小至3微米厚的矽殘留再生利用,並可達到業界最高的利用率。
 
硅片直径从100mm, 150mm, 200mm到300mm.
 
矽片再生:时将所有薄膜从硅片上剥除,并做化学清洁;在剥除清洁后,可重新积层薄膜。
剝除與輕微抛光:將所有薄膜從矽片上剝除,並以輕微抛光移除外表的損壞、不平整、以及薄膜殘留物。
顆粒再生:ag凯发可提供高質量的顆粒再生,最小顆粒可達88奈米巨细。
平整度:由于使用最頂尖的設備,ag凯发處理過的再生晶圓具有十分高的平整度。
·    ag凯发再生晶圆片有高度局部平整需求,与局部平整度,因此可供光刻应用。
·    可轻易抵达<.13微米的局部平整度

ag凯发合格的颗粒再生处理技术, 可将200毫米至300毫米直径的晶圆片上的瑕庛, 辨别减小至80奈米与45奈米。并可提供提供每片晶圆片100%量测数据,制品率可达95%以上。并可根据您的预算需求进行再生处理

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